產品[
半導體特氣檢漏儀（自動吸引式）XP-703D
]資料
如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱:
半導體特氣檢漏儀（自動吸引式）XP-703D
產品型號:
XP-703D
產品廠商:
日本新宇宙
產品文檔:
無相關文檔
簡單介紹
半導體特氣檢漏儀（自動吸引式）XP-703D
特點：
*適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。
采用聲光報警。
半導體特氣檢漏儀（自動吸引式）XP-703D的詳細介紹
半導體特氣檢漏儀（自動吸引式）XP-703D
| 型 號 |
XP-703D
|
|
檢測對象氣體
|
半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）
|
|
檢測原理
|
專線型半導體式
|
|
采樣方式
|
自動吸引式
|
|
可檢測濃度
（單位：ppm）
|
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
|
|
檢測表示
|
蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍
|
|
應答速度
|
10秒以內
|
